Пример 5. Экспертным методом ВКВ выделить наиболее влияющие на годную продукцию факторы технологического процесса производства кристаллов интегральных микросхем для последующего математического моделирования оптимизации этого техпроцесса.
Р е ш е н и е. Прежде всего необходимо составить анкету (опросный лист эксперта) и отобрать группу экспертов. В данном конкретном случае были отобраны 10 экспертов, каждый из которых заполнил верхнюю треугольную часть матрицы, а всю остальную работу – заполнение нижней части матрицы по правилу (4.16), вычисление итерированных важностей рi(1) и рi(2) по формулам (4.18) и (4.19), а также проверку правильности всех расчетов по условию (4.20) – проделал исследователь. Он же определил коэффициент внутренней непротиворечивости всех экспертов по формуле (4.21). Оказалось, что один из экспертов дал противоречивые ответы, его коэффициент был ниже границы компетентности qгр=0,5, поэтому его мнение в дальнейшем не учитывалось. Результаты обработки остальных анкет были сведены в таблицу весовых коэффициентов важности второго порядка, рассчитанных по формуле (4.17).
При проверке по критерию Кохрена (4.22) 
<Gтабл(5%; nчисл=8; nзн=7) с 95%-й уверенностью было доказано, что существенных противоречий в высказываниях экспертов по каждому отдельному фактору не имеется.
|
Номер эксперта, l |
Факторы, i |
Коэфф. непротиворечивости ql |
||||||
|
X1 |
X2 |
X3 |
X4 |
X5 |
X6 |
X7 |
||
|
1 |
0,255 |
0,091 |
0,091 |
0,176 |
0,350 |
0,029 |
0,008 |
0,89 |
|
2 |
0,243 |
0,107 |
0,086 |
0,193 |
0,322 |
0,041 |
0,008 |
0,91 |
|
3 |
0,217 |
0,111 |
0,056 |
0,205 |
0,314 |
0,069 |
0,028 |
0,72 |
|
4 |
0,278 |
0,098 |
0,069 |
0,181 |
0,316 |
0,037 |
0,021 |
0,65 |
|
5 |
0,262 |
0,096 |
0,072 |
0,154 |
0,370 |
0,031 |
0,015 |
0,68 |
|
6 |
0,245 |
0,084 |
0,098 |
0,162 |
0,366 |
0,039 |
0,006 |
0,93 |
|
7 |
0,250 |
0,086 |
0,090 |
0,158 |
0,352 |
0,052 |
0,012 |
0,90 |
|
8 |
0,217 |
0,099 |
0,104 |
0,151 |
0,377 |
0,033 |
0,019 |
0,84 |
|
9 |
0,251 |
0,095 |
0,095 |
0,169 |
0,351 |
0,028 |
0,011 |
0,89 |
|
|
0,246 |
0,096 |
0,085 |
0,172 |
0,346 |
0,040 |
0,014 |
— |
|
S2i[bip(2)]x104 |
3,861 |
0,785 |
2,445 |
3,371 |
5,640 |
1,739 |
0,524 |
— |
Проверка правильности выводов экспертизы с помощью коэффициента конкордации по формуле (4.23) дала величину W=0,745, а расчетный критерий Пирсона по формуле (4.24) 
, что окончательно подтверждает правильность найденной ранжировки. Для удобства восприятия ее целесообразно представить в графической форме.
 |
Таким образом, в качестве факторов, имеющих наибольшее влияние на годность кристаллов ИМС, можно считать факторы Х1, Х4 и Х5, с которыми и следует работать при математическом моделировании исследуемого технологического процесса.
