Пример 4. Для иллюстрации сказанного рассмотрим результаты расслоенного экспери­мента, проведенного для технологического процесса изготовления кристаллов ИМС одного типа 533 серии. Были измерены 213 электрофизических и электрических параметров по 5 тес­товым ячейкам 120 пластин, взятых случайным образом из 20 разных партий. Так как рассло­енный эксперимент может проводиться только для случайных величин, распределенных по нормальному закону распределения, то таблица исходных данных была использована для предварительного определения фактических законов распределения каждого измеренного па­раметра.

Очищенные от анормальных наблюдений выборочные данные, обработанные по из­ложенной методике показали, что большинство измеряемых параметров распределено по нормальному закону, и лишь некоторое (в основном токи утечки) – по экспоненциальному. Результаты расслоенного эксперимента представлены в табл.3.6.

Таблица 3.6

Результаты расслоенного эксперимента для некоторых параметров

Анализ результатов расслоенного эксперимента привел к необходимости исследования поведения параметров кристаллов на пластине (т.е. исследования однородности пластин), пределов рассеяния центров распределения пластин внутри партии и тиража ( т.е. математи­ческого моделирования процессов изготовления кристаллов), вопроса о точности оценок вы­борочных распределений (а с ними и достоверность разбраковочного контроля) и вопроса о выявлении минимального списка контролепригодных параметров, содержащих всю (или почти всю) информацию о качестве (а, следовательно, и надежности) изготавливаемых кри­сталлов.